技術的パラメータ
| 適応力 | AC220V 50/60Hz |
| 流量計の標準範囲 | 100sccm/200sccm/200sccm/500sccm(特に指定がない限り、窒素で校正されます。範囲は選択可能です) |
| 動作温度 | 5〜45℃ |
| 作動圧力差 | 0.1〜0.5MPa |
| 作動圧力 | 流量計圧力 3MPa、システム出口圧力 = <0.3MPa(その他の非標準圧力はカスタマイズが必要) |
| 精度 | ±1.5% FS |
| 測定範囲 | -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/グリッド) |
| ニードルバルブ | 316ステンレス |
| ストップバルブ | 316ステンレス鋼ニードルバルブ |
| サイズ | 260*450*450ミリメートル |
